2017年4月25日，中國蘇州——作為市場領先的濕制程領導設備商，Manz亞智科技憑借30多年的豐富經驗及超過3,000臺的設備銷售實績，為顯示器及觸控面板產業提供生產制程全方位解決方案。為突破目前國內顯示器生產制程中的曝光機及Track Line等關鍵設備幾乎被國外廠商所壟斷的局面，Manz亞智科技宣布與上海微電子裝備(集團)股份有限公司（以下簡稱上海微電子）簽署戰略合作協議。根據合作協議，未來上海微電子在國內提供黃光微影制程解決方案，將結合其曝光機與Manz Track Line解決方案，攜手拓展國內顯示器面板 Array 段的黃光微影制程生產設備市場。
近年來，國內平板顯示產業在國家政策的持續支持下，已實現了技術和產業規模的多種突破，快速掘起成為世界平板顯示產業的重要一環。在TFT設備生產和研發方面，雖然國內投入巨資開工建設了多條高世代面板線，然而固定投資資金約60％左右都花在了設備購買上，而主要制程設備則從日韓等國家進口，國產設備研發之路依舊任重道遠。
Manz亞智科技與國內著名的半導體設備制造公司-上海微電子簽署戰略合作協議，正是共同創新、實現技術突破并積極響應國家號召“以創新引領實體經濟轉型升級”的具體體現。雙方將就顯示器面板 Array 段的黃光微影制程生產設備結成長期戰略合作關系，旨在打破國內市場上關鍵設備需依靠進口的局面。未來，上海微電子的曝光機將結合Manz Track Line解決方案，攜手拓展國內顯示器面板 Array 段的黃光微影制程生產設備市場份額。目前，Manz G4.5 Track Line 相關設備已裝機于上海微電子研發廠內，包括清洗設備、涂布設備、顯影設備及自動化軟硬件設備，將提供客戶做樣品測試及驗證。
上海微電子作為國內著名的半導體設備制造商，主要致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發、設計、制造、銷售及技術服務，其設備廣泛應用于集成電路前道、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領域。其研發生產之曝光機為ARRAY段黃光微影制程的關鍵設備, 分辨率高達2um以下，并已通過客戶的生產驗證。 該曝光機仍不斷進行技術精進與研發，目前已達成1.5um分辨率技術研發。
Manz Track Line 解決方案之關鍵設備精密涂布設備，擁有出色的膜厚均一性≤3%。
光阻涂布在黃光微影制程中亦是影響 Array 段制程的關鍵之一，光阻涂布的均勻性及用量，都關系著面板良率及生產成本。Manz亞智科技自主研發的精密涂布設備采取了狹縫式涂布，能針對不同的流體進行涂刀內部流道分析及設計，并采用直接驅動的自有注射泵及供液系統，有效控制光阻的膜厚均勻度≤3%。
上海微電子將曝光機臺、Track Line、長短寸及膜厚量測機臺整合在一起，并進一步連接各設備之間的軟硬件，優化各機臺的運行參數，結合定制化光阻，為客戶提供完整的、高分辨率、高效率黃光微影制程解決方案。
通過此次Manz亞智科技與上海微電子的戰略合作，不僅能夠實現設備生產的國產化，從研發、材料、生產到服務全部本地化，更將打破目前國內關鍵設備生產被外商所壟斷的局面。此舉將能快速響應面板制造商日新月異的需求，提供定制化的服務，還可以有效地降低設備購置成本及運送成本，未來更好的進一步服務本地客戶。此次合作，也意味著Manz亞智科技未來將把技術研發的觸角伸進半導體領域。
Manz亞智科技暨顯示器事業部總經理林峻生表示：“身為濕制程領導設備商，Manz 亞智科技30多年來不斷致力于技術突破和創新。由濕制程技術跨足到以精密涂布為關鍵的Track Line解決方案，核心技術的整合與擴充應用是我們主要的發展方向。通過與上海微電子的戰略合作對我們而言無疑是一大助力，將結合雙方資源，掌握顯示器面板黃光微影生產制程的關鍵技術與設備，共同打破關鍵制程設備需仰賴進口的瓶頸，使設備國產化、更貼近市場，從而以本地化的服務及生產成本，更好地服務本地客戶。這項戰略合作是一個良好的開端，未來在半導體產業也將會有更進一步的合作。”想了解更多關于Manz為顯示器關鍵制程所提出的Track Line解決方案，請造訪Manz 亞智科技位于2017上海國際全觸與顯示展（C-Touch Shanghai 2017）的展位。
日期：2017年4月25日 (周二) ~ 2017年4月27日 (周四)
時間：09:00 AM~04:30 PM
地點：上海世博展覽館二號館 /上海市浦東新區國展路1099號
展位：2B11
Manz 集團 ——激情成就高效能（Passion for efficiency）
Manz 集團總公司位于德國羅伊特林根城，是一家全球領先的高科技設備制造商。1987 年成立的Manz 公司，現已從自動化專家，成功發展成為生產設備解決方案的供貨商。Manz 專精于六項科技領域，包含自動化、量測與檢測、激光工藝、化學濕制程、印刷與涂布，及卷對卷技術，這些核心技術應用于Manz 在“電子裝置及元器件”、“太陽能”及“儲能”三大策略領域的技術擴展，并將在未來持續向前發展。Manz 集團于2006 年在德國公開上市，由創立者Dieter Manz 先生擔任首席執行長，Manz 集團在德國、斯洛伐克、匈牙利、意大利、中國大陸及臺灣皆設有自己的生產據點；而Manz 集團的業務銷售及服務網絡遍布全球，包括美國、南韓和印度。在公司宣言“激情成就高效能”的推動下，Manz 承諾未來會為各種重點產業的客戶，提供更高效能的生產系統解決方案。作為世界領先的設備制造商，Manz 為其全球眾多客戶降低終端產品的生產成本作出了巨大貢獻。
